用于半导体加工的 172nm 微型准分子灯模块

这 172nm MINl准分子模块 是一款紧凑型、即插即用的桌面解决方案，适用于 半导体研发 和 实验室验证它释放短波真空紫外线 (VUV) 辐射，可裂解分子键以消除有机污染物并改变表面能，而不会损坏基材，为研究实验室和大学提供了一个灵活的工艺验证平台。

模型 :
EX-D75-1
中心辐照度（@1mm） :
>10mW/cm²
辐照度均匀性 :
±10%
达到 90% 产出所需时间 :
≤5 seconds
平均灯泡寿命 :
>1000 hours
冷却方法 :
Air cooling
模块尺寸（长×宽×高） :
209×142×69 mm
窗户开口尺寸（长×宽） :
75×50 mm

172nm 微型准分子实验模块
这款172nm迷你准分子激光器实验模块专为半导体工艺研发、工艺验证和小规模中试而设计。它采用高度集成、书本大小的尺寸，为早期开发提供了一个经济高效的入门选择。该模块即插即用、便于携带，可无缝集成到标准实验室和光学面包板环境中。
该模块可有效去除晶圆、玻璃和塑料表面的有机污染物，从而提高表面清洁度和附着力。它是一种可靠的预处理解决方案，适用于封装、清洗和其他工艺应用。该模块采用风冷设计，可在 5 秒内达到 90% 的光输出，并提供一致的均匀辐照度，确保实验结果的可重复性。
应用田野
半导体封装——预键合活化研发
研发团队使用 EX-C300 来精确调整 172nm 真空紫外 (VUV) 光刻参数，包括剂量、工作距离和循环时间，以激活芯片贴装、倒装芯片和混合键合表面。这款台式设备可提供可重复的表面能数据，从而在投入生产前形成经过验证的键合配方。
晶圆和基板——沉积前有机清洗
研究人员使用 172nm 真空紫外光子处理裸露和图案化的测试晶圆，以在进行原子层沉积 (ALD)、化学气相沉积 (CVD) 或物理气相沉积 (PVD) 之前建立清洁度基线。低于 40°C 的操作消除了任何热预算风险，而处理后的 XPS 和接触角数据则确定了工艺验证所需的最小有效剂量。
FMM 和光掩模——无损有机清洁
EX-C300 采用纯光化学氧化法去除精细金属掩模和光掩模上的有机污垢——无需接触，不使用化学品，不留任何残留物。反复试验证实，纳米级掩模特征保持完好，从而确定了生产应用的安全累积剂量和循环次数限制。
先进材料——表面改性与润湿性控制
薄膜和电池研发实验室采用受控的 172nm 波长光照射技术处理聚合物薄膜（PET、PI、COP）和电极箔，然后测量接触角减小量和附着力提升量。这种冷光子工艺避免了对敏感材料的热损伤，所得数据可直接用于生产线配方——在工厂制造前进行实验室测试。
主要特点
01 便携式设计
小巧轻便，即插即用，桌面级设计。
02 快速点火
高强度 172nm 紫外线输出，5 秒快速稳定点火。
03 稳定输出
均匀辐照度可确保处理结果的一致性和可靠性。
04 空气冷却
采用风冷设计，无需外部冷却系统。
05 定制服务
提供可定制的应用解决方案和合同实验服务。
认证与合规
ISO
ISO 9001/14001
经认证的质量管理体系，确保达到优质的生产标准。
CE
CE认证
完全符合欧洲健康、安全和环境保护法规。
RoHS
符合ROHS标准
环保生产工艺，完全不含任何有害物质。
UL
UL认证
符合北美严格的电气绝缘、接地和运行安全标准。
常问问题
Q EX-D75-1 172nm 模块的主要应用有哪些？
该模块专为实验室和中试生产线中的表面预处理而设计。其主要应用包括去除晶圆和玻璃上的痕量有机污染物、对塑料或聚合物进行表面活化和改性以增强粘附性，以及在放大到大规模自动化生产之前对超精细清洗工艺进行验证。
Q 这款 172nm 微型准分子激光器模块需要外部冷却系统吗？
无需外接水冷机或复杂的冷却基础设施。EX-D75-1 采用集成式强制风冷方式，保持轻巧紧凑的桌面式设计，可轻松适应各种空间有限的实验室环境，包括手套箱。
Q 该模块最快能达到稳定的光输出以进行测试吗？
该模块具备即时启动和快速稳定点火功能，可在≤5秒内达到其额定总光输出的90%。这显著减少了间歇性实验室工艺测试之间的停机时间，并确保了高辐照度均匀性（±10%），从而实现可靠的数据采集。