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172nm准分子高能紫外清洗装置半导体电池表面改性
Semiconductor Surface Modification Device
dry organic contaminant removal machine

172nm准分子高能紫外清洗装置半导体电池表面改性

172nm准分子紫外器件 交付 高能光清洗纳米级表面改性 适用于半导体、电池和先进材料。该紧凑型系统利用172nm冷紫外光子,可在不损伤基材的情况下破坏有机化学键并氧化污染物。具有高度均匀性 ±15% 其工作温度低于 40°C,为传统的低压汞灯提供了一种环保、低能耗的替代方案。

  • 模型 :

    EX-C300
  • 工作温度 :

    -5℃~50℃
  • 强度(距照射表面 8 毫米处) :

    >45 mW/cm2
  • 氮输入 :

    30Lpm
  • 总功率 :

    <400W
  • 输入电压(V) :

    AC220V
  • 主要特点

    01 高速清洁

    清洗速度是传统低压汞灯的 10 倍,大大加快了在线或批量处理周期。

    02 个体切换

    可根据加工宽度单独切换每个灯模块,最大限度地提高能量平衡并延长灯的总使用寿命。

    03 低温运行

    防止对热敏材料造成热损伤,保持稳定的基板表面温度严格不超过 40℃。

    04 低能耗

    高度环保的建筑设计,与标准汞灯配置相比,能耗降低 65%,且不损失光照强度。

    05 节省空间

    采用高度紧凑的电源装置,可轻松支持空间受限的自动化生产线内的整个处理系统。

    06 易于维护

    设计便于日常清洁和维护,使操作人员能够快速更换灯泡,防止停机。

    07 高均匀性

    保证指定照射区域内辐照度均匀性为±15%,显著提高批量处理的稳定性。

     

    172纳米 高能紫外线装置

     

    172nm高能真空紫外(UV)准分子系统代表着一种范式转变
    干式工业清洗和原子级表面改性。
    专为半导体封装、锂离子电池开发和显示器制造领域而设计,
    这种高通量光子系统作用于有机表面污染物的分子结构。
    不改变基底本体性质。
     
    该系统通过产生高强度的 172nm 单波长光子,实现双重作用的清洁机制:
    直接裂解关键的有机化学键(C=C、CH、OH),同时从环境或氮气吹扫的环境中生成高活性单线态氧和臭氧簇。
    由此产生的挥发性氧化物可以干净利落地去除,留下超纯、高亲水性的表面,可用于微键合、涂层或沉积工作流程。

    --------------占位--------------

    操作视频

    认证与合规

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    经认证的质量和环境管理体系,确保生产校准的一致性。

    CE Certified Declaration
    CE

    CE认证

    完全符合欧洲职业健康、系统安全和防护标准。

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    符合ROHS标准

    绿色硬件架构,不含铅、汞和受限有害重元素。

    UL Safety Certificate
    UL

    UL认证

    符合北美严格的电气绝缘、接地和运行安全标准。

    常问问题

    Q 为什么选择 172nm 单波长准分子光而不是传统的低压汞灯?

    传统汞灯发射波长较宽的光,波长分别为 185nm 和 254nm,主要依赖于二次臭氧反应。我们特有的 172nm 准分子系统可发射 7.2 eV 的光子能量,直接与常见有机污染物(C=C、CH)的共价键能相匹配,从而将其破坏。这使得干洗速度提升高达 10 倍,并消除了高热辐射风险。

    Q 独立开关功能如何防止灯泡过早老化?

    与串联式连接(其中一根灯管故障会导致整个阵列失效)不同,我们的系统为每个灯管配备独立的镇流器。用户可以根据基板表面宽度要求独立切换模块,从而延长系统运行时间,并简化现场定向更换流程,实现零停机时间。

    Q EX-C300 系统运行的核心环境要求是什么?

    工业级 EX-C300 采用 AC220V 电​​源,标准环境工作温度范围为 -5°C 至 50°C,并配备常规的 25°C 循环水冷却系统。为最大限度地提高真空紫外 (VUV) 处理性能并消除内部窗口氧化,建议在辐照循环期间保持稳定的氮气 (N₂) 流量,流量为 30 Lpm。
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