气体放电灯

这 172nm MINl准分子模块 是一款紧凑型、即插即用的桌面解决方案，适用于 半导体研发 和 实验室验证它释放短波真空紫外线 (VUV) 辐射，可裂解分子键以消除有机污染物并改变表面能，而不会损坏基材，为研究实验室和大学提供了一个灵活的工艺验证平台。