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工业集成 172nm 准分子灯表面光清洗
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excimer inline cleaning lamp
flat panel display cleaning UV light
semiconductor wafer dry cleaning UV light

工业集成 172nm 准分子灯表面光清洗

使用 GMY 的产品提升您的表面处理精度 172nm准分子灯利用先进技术 光化学氧化我们不含汞的 172nm 紫外光解决方案可有效分解有机污染物,从而在半导体晶圆、显示器基板和光学器件上实现原子级清洁。

  • 产品规格

    模型力量管材尺寸(直径×长度)发射长度产品代码
    172E860D40×957860瓦φ40 × 957 毫米860毫米A520121 4001000
    172E172D26.5×908172瓦φ26.5 × 908 毫米842毫米A5201215001000

     

    主要特点

    01 无汞操作

    100% 环保真空紫外线处理,完全符合国际 RoHS 限制,消除洁净室中危险的汞危害和处置风险。

    02 高能光子产生羟基自由基(HO*)

    发射高能真空紫外波长,持续电离周围氧分子,产生高密度活性羟基自由基(HO*),从而快速断裂有机键。

    03 质量稳定可靠,生产能力强

    依托大规模工业化生产线,确保批次完全一致,出货前经过严格的老化测试,以及万无一失的供应链可靠性。

    04 可定制灯具设计,适用于灵活应用

    定制弧长、包络尺寸、多针电气帽端子和匹配的镇流器控制,以实现与定制工具的无缝机械集成。

     
    172纳米 准分子灯 - 照片清洗
    使用 GMY 的 172nm 准分子灯提高表面处理的精度。利用光化学氧化,
    我们不含汞的172nm紫外线解决方案能有效分解有机污染物。
    在半导体晶圆、显示器基板和光学器件上实现原子级清洁度。
    172nm准分子灯是一种新一代真空紫外光源,采用工程技术制造。
    专用于高效干洗和表面改性。
    基于直接光化学氧化原理,
    172nm VUV 光子携带能量,可以破坏材料表面有机污染物的分子键。
    同时,光与周围的氧气发生反应,使目标表面达到原子级的清洁度,而不会损坏基底结构。

    --------------占位--------------

    应用 田野

    显示基板

    适用于大面积玻璃板表面的宏观真空紫外干法处理。在阵列处理层之前有效清除残留的多分子痕迹,以确保最大程度的均匀性和更低的废品率。

    半导体硅晶片

    可从原始硅表面去除肉眼不可见的有机团簇和空气中的碳氢化合物,直至原子级别。为原生光刻轨道和氧化物堆叠层制备关键的晶圆图案。

    集成电路

    在倒装芯片键合之前,对微凸块和高密度集成电路互连布局进行去污。清洁端子线路,显著增强底部填充材料的粘合力,并消除封装分层。

    光学器件

    为精密棱镜、晶体元件和先进激光光学元件提供零接触、冷源干洗。保护薄膜抗反射层免受手动清洁造成的划痕和溶剂痕迹的影响。

    液晶显示器生产

    清洁薄膜晶体管 (TFT) 液晶板、彩色滤光片和偏光片。最大程度提高表面润湿性,以支持高速装配线加工过程中材料的均匀铺展。

    电子纸

    优化柔性电子纸显示器上的复杂聚合物背衬层和矩阵面板。显著提高界面交联密度,且不引入结构热变形。

    AR镜片

    对树脂或玻璃材质的可穿戴智能镜片进行精密光清洗。在气相沉积工艺之前大幅降低表面水接触角,以确保获得持久耐用、无条纹的光学镀膜。

    微纳制造

    触发聚合物树脂和微流控芯片实验室装置上的化学修饰和功能极性基团(-OH、-COOH)插入,从而建立固体基底毛细管通道和永久粘合。

    认证与合规

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    经认证的质量管理体系,确保达到优质的生产标准。

    CE Certified Declaration
    CE

    CE认证

    完全符合欧洲健康、安全和环境保护法规。

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    符合ROHS标准

    环保生产工艺,完全不含任何有害物质。

    UL Safety Certificate
    UL

    UL认证

    北美高级电气安全和防火合规标准。

    常问问题

    Q 172nm准分子灯在光清洗方面比传统的185nm紫外灯有哪些优势?

    与低压汞灯(185nm/254nm)不同,172nm准分子光发射的单光子能量显著更高,能够直接断裂有机化合物中牢固的碳-碳分子键。此外,172nm光在普通空气层中具有极高的吸收系数,使其能够同时生成高密度羟基自由基(HO•)和天然臭氧,从而显著提高有机污染物的清除速率。

    Q 这些工业用大功率准分子灯不含汞吗?

    是的,所有GMY 172nm准分子灯均采用完全无汞的介质阻挡放电(DBD)技术。这完全符合严格的绿色工厂标准、RoHS法规和现代环保准则,使其适用于洁净室设施,并且在报废后易于处置。

    Q 我们能否将这些灯具直接集成到自动化高速传送带中?

    没错。得益于准分子激光技术的即时启动特性,这些灯无需像汞灯那样长时间预热。它们可以随传送带触发瞬间开启和关闭,防止系统意外停机时产生热负荷,并实现极高的集成灵活性。
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