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172nm准分子灯模块半导体晶圆及掩模紫外清洗FMM/殷钢薄膜掩模
172nm excimer lamp module
172nm excimer surface treatment
PI film adhesion enhancement light
VUV contact angle reduction module
172nm cold UV light source
Mercury free 172nm light source

172nm准分子灯模块半导体晶圆及掩模紫外清洗FMM/殷钢薄膜掩模

它能有效去除纳米级有机污染物。广泛应用于半导体晶圆紫外清洗、FMM精细金属掩模清洗、殷钢掩模清洗、OLED蒸发掩模清洗和光掩模清洗、PCB紫外清洗以及辊涂生产线中的准分子紫外消光。它是滨松和牛尾172nm准分子灯的一种经济高效的替代方案。
  • 模型 :

    MO-D330-6
  • 保修单 :

    1 year
  • 1米处的辐照度 :

    >100 mW/cm²
  • 均匀性 :

    ±10%
  • 172nm 中心辐照度 :

    >70 mW/cm² @3mm
  • 平均使用寿命(辐照度≥70%) :

    2,500 hrs
  • 尺寸 :

    (350×350mm irradiation window)
  • 工作湿度 :

    20%~80%
  • 工作温度 :

    -5°C~30°C
  • 总功率 :

    1200W ±10%
  • 输入电压(V) :

    AC 110~240V
  • GMY MO-D330-6 172nm准分子灯模块

    作为一家专业的中国准分子灯制造商

    我们的优势

    • 01. 根据您的应用需求定制解决方案
    • 02. 从设计到生产,交货期为 30-45 天。
    • 03. 零开发成本 | 可定制单机

    应用 田野

    Semiconductor wafer & Mask Cleaning

    半导体晶圆及掩模清洗

    172nm真空紫外光具有极强的氧化性,能够分解晶圆上的有机污垢和微小颗粒,且不留任何残留物。这确保了半导体制造的精准性。

    OLED 和显示面板面罩清洗

    172nm准分子灯发出高能紫外光,用于去除OLED/显示面板掩模上的杂质,从而防止像素缺陷,适用于京东方(BOE)、TCL华星光电(CSOT)等生产线。

    Organic particles & TOC Removal
    Film & Coating Production

    FMM、Invar 和 OLED 蒸发金属掩模清洗

    用于FMM精细金属掩模清洗的紫外灯,用于Invar掩模清洗的172nm准分子灯,

    OLED蒸发掩模紫外线清洗,172nm真空紫外线金属掩模清洗

    172nm真空紫外光能够分解这些掩模上的有机物,而不会损坏掩模的结构,从而确保像素定位的精确性。这直接提高了生产良率。

    薄膜及涂层生产准分子激光消光膜生产线

    172nm VUV辊涂系统,准分子UV消光。

    172nm准分子紫外光可改变薄膜表面,形成粗糙纹理,有利于消光和提高涂层附着力。适用于连续辊涂工艺。

    Cold Plate & AI Server Cleaning

    主要特点

    01 高强度输出

    表面辐照度 > 100 mW/cm²;70 mW/cm²(@3mm)。有效去除有机污染物。

    02 使用寿命长

    优质电极和精准的气体控制。基本使用寿命超过2500小时。1000小时质保,衰减。 < 30%。专业用途可达 3000 小时以上。

    03 极佳的均匀性

    照射窗口尺寸为350×350毫米,均匀性±10%。窗口尺寸可根据您的要求定制。

    04 立即操作

    无需预热,即时启动。支持高频运行和卷对卷辊涂系统。

    05 高适应性

    在-5°C至30°C范围内可靠运行,非常适合洁净室和温控区域。

    06 灵活集成

    可与多种生产设备配合使用。我们提供定制化解决方案,交付快捷,且无需开发成本。

    07 无汞光源

    采用 172nm 无汞紫外光源,确保安全和环保。

    08 专业可靠

    凭借30年紫外光领域及设备制造经验,具备大规模生产能力、产品一致性高、性能稳定、交货可靠、准时等特点。

    认证与合规

    ISO Certificate
    ISO

    ISO 9001/14001

    经认证的质量管理体系,确保达到优质的生产标准。

    CE Certified Declaration
    CE

    CE认证

    完全符合欧洲健康、安全和环境保护法规。

    ROHS Compliance Certificate
    RoHS

    符合ROHS标准

    环保生产,完全不含任何有害物质。

    UL Safety Certificate
    UL

    UL认证

    北美高级电气安全和防火合规标准。

    常问问题

    Q 172nm准分子灯的工作原理是什么?

    172nm VUV准分子灯通过气体放电产生高能真空紫外光。它具有极高的光子能量,远远超过常见有机分子的键能。

    光具有强大的分子键断裂能力,可直接分解有机污染物。它还能产生活性氧,从而增强清洁和去除总有机碳的效果。

    作为 Ushio 准分子灯和 Hamamatsu 172nm 准分子灯的可靠替代品,它适用于半导体清洗、冷板清洗、CDU 和 UPW 水处理、薄膜消光等工业场景。

    Q 为什么选择GMY?

    1. GMY在紫外线灯研发和生产方面拥有30年的经验和雄厚的技术实力。
    2. 我们提供定制化解决方案,以满足您的实际应用需求。
    3. 交货周期短:从设计到成品只需 30-45 天。
    4. 零开发成本,即使是单件订单也可进行定制。

    Q 该设备是否适用于多种应用场景?

    是的。它支持半导体晶圆、PCB和各种掩模清洗,以及薄膜消光和辊涂工艺。只需针对不同用途进行少量调整即可。
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