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VUV表面清洗模块

VUV表面清洗模块

  • 172nm excimer lamp module
    172nm准分子灯模块半导体晶圆及掩模紫外清洗FMM/殷钢薄膜掩模
    它能有效去除纳米级有机污染物。广泛应用于半导体晶圆紫外清洗、FMM精细金属掩模清洗、殷钢掩模清洗、OLED蒸发掩模清洗和光掩模清洗、PCB紫外清洗以及辊涂生产线中的准分子紫外消光。它是滨松和牛尾172nm准分子灯的一种经济高效的替代方案。

    晶圆和FMM清洗

    薄膜消光和涂层

    冷板有机颗粒去除

    亲水改性

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