172nm TOC 退化模块

这款产品专为超纯水 (UPW) 系统设计，环保且不含汞。 172nm VUV模块 它能引发强效的自由基氧化反应，将总有机碳（TOC）浓度降低至ppb级。通过将有机化合物转化为痕量二氧化碳和水，它为半导体、制药和实验室提供理想的水净化解决方案。其智能模块化设计简化了现场维护和系统扩展，并完全支持定制功率和流量。